關於MEMS...

微機電系統的應用很多,以下列出二種.

 (一) 微加速度計 :

      汽車安全氣囊,使用電容微加速度計,以便達到微小化的目的，在一片矽晶圓上大量生產，成本極低，

      使得安全氣囊已成為一般汽車的標準配備。

 (二) 物聯網、智慧製造感測元件

      基於無線或有線的網際網路實體，將所有裝置或設備進行網路定址，

      實現互聯互通的網路稱為「物聯網」（Internet of Things, IoT），

      我們可以說物聯網就是「物物相聯的網際網路」，包括三個特徵：

      互聯網路：架構在網際網路實體之上，

                               由用戶端延伸擴展到任何物與物（裝置或設備）之間進行通訊。

      識別與通信： 物聯網所說的「物」（things）必須具備自動識別（identification）的功能，

                                 同時具有物對物（thing to thing, T2T 或machine to machine, M2M） 通訊的功能，

                                 使用不同的通訊技術，使機器之間、人機之間能夠互相通訊。

      智慧功能：物聯網所說的物必須具備「智慧型」（intelligent）的功能，

                            包括自動反應、自我回饋、智慧控制等特性，要讓物具備智慧特性，

                            最簡單的就是使用各種感測器對外界的光、電、磁、聲、化學等訊號有所反應，

                            達成全面感知、可靠傳遞、智慧處理三大特性。

      多數的感測器都是運用電容效應（物理反應）來偵測，唯氣體感測必須結合化學反應，

      影像感測與紅外線感測則是結合光學反應。

      由於大部分的感測器都是使用微機電系統技術製作，體積將會愈來愈小，

      勢必成為物聯網智慧功能的重要元件。