關於MEMS...
MEMS是利用半導體製程技術，整合電子及機械功能製作而成的微型裝置，在裝置上既擁有電子訊號的處理能力，並且有機械結構的運動能力。微電子機械系統是由微機械加工技術(Micromachining)和微電子技術(Microelectronics Technologies)相結合而成的集成系統，它包括有微電子電路(IC)、微執行機構以及微感測器。
微機電系統的應用很多,以下列出二種.
（一）微加速度計 :
汽車安全氣囊,使用電容微加速度計,以便達到微小化的目的，在一片矽晶圓上大量生產，成本極低，
使得安全氣囊已成為一般汽車的標準配備。
(二）物聯網
基於無線或有線的網際網路實體，將所有裝置或設備進行網路定址，實現互聯互通的網路稱為「物聯網」（Internet of Things, IoT），
我們可以說物聯網就是「物物相聯的網際網路」，包括三個特徵：
互聯網路：架構在網際網路實體之上，由用戶端延伸擴展到任何物與物（裝置或設備）之間進行通訊。
識別與通信： 物聯網所說的「物」（things）必須具備自動識別（identification）的功能，
同時具有物對物（thing to thing, T2T 或machine to machine, M2M） 通訊的功能，使用不同的通訊技術，使機器之間、人機之間能夠互相通訊。
智慧功能：物聯網所說的物必須具備「智慧型」（intelligent）的功能，包括自動反應、自我回饋、智慧控制等特性，要讓物具備智慧特性，
最簡單的就是使用各種感測器對外界的光、電、磁、聲、化學等訊號有所反應，達成全面感知、可靠傳遞、智慧處理三大特性。
多數的感測器都是運用電容效應（物理反應）來偵測，唯氣體感測必須結合化學反應，影像感測與紅外線感測則是結合光學反應。
由於大部分的感測器都是使用微機電系統技術製作，體積將會愈來愈小，勢必成為物聯網智慧功能的重要元件。
微機電系統的應用很多,以下列出二種.
(一) 微加速度計 :
汽車安全氣囊,使用電容微加速度計,以便達到微小化的目的，在一片矽晶圓上大量生產，成本極低，
使得安全氣囊已成為一般汽車的標準配備。
(二) 物聯網、智慧製造感測元件
基於無線或有線的網際網路實體，將所有裝置或設備進行網路定址，
實現互聯互通的網路稱為「物聯網」（Internet of Things, IoT），
我們可以說物聯網就是「物物相聯的網際網路」，包括三個特徵：
互聯網路：架構在網際網路實體之上，
由用戶端延伸擴展到任何物與物（裝置或設備）之間進行通訊。
識別與通信： 物聯網所說的「物」（things）必須具備自動識別（identification）的功能，
同時具有物對物（thing to thing, T2T 或machine to machine, M2M） 通訊的功能，
使用不同的通訊技術，使機器之間、人機之間能夠互相通訊。
智慧功能：物聯網所說的物必須具備「智慧型」（intelligent）的功能，
包括自動反應、自我回饋、智慧控制等特性，要讓物具備智慧特性，
最簡單的就是使用各種感測器對外界的光、電、磁、聲、化學等訊號有所反應，
達成全面感知、可靠傳遞、智慧處理三大特性。
多數的感測器都是運用電容效應（物理反應）來偵測，唯氣體感測必須結合化學反應，
影像感測與紅外線感測則是結合光學反應。
由於大部分的感測器都是使用微機電系統技術製作，體積將會愈來愈小，
勢必成為物聯網智慧功能的重要元件。
